水环真空泵供应商-北京凯德金-水环真空泵

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    2024-6-1

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真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,水环真空泵厂家,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。




真空泵注意事项

真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,水环真空泵报价,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。

正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2bv系列水环真空泵工作压强范围760mmhg~25mmhg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmhg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmhg下长期工作。





真空泵机械安装

在连接管路中,用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查真空泵的---压力。

按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。

真空泵通电试运转时,须取下电机皮带,水环真空泵,确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用,以防真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)

对于有冷却水的真空泵,水环真空泵供应商,按规定接通冷却水。

如真空泵口安装电磁阀时,阀与真空泵应同时动作。⑼当真空泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。





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